氮化硅制品的生產工藝都有哪些
更新時間：2017-12-19 關注：3939
氮化硅制品按工藝可以分為反應燒結制品、熱壓制品、常壓燒結制品、等靜壓燒結制品和反應重燒制品等。其中，反應燒結是一種常用的生產氮化硅耐火制品的方法。
反應燒結法生產氮化硅制品是將磨細的硅粉（粒度一般小于80μm），用機壓或等靜壓成型，坯體干燥后，在氮氣中加熱1350～1400℃，在燒成過程中同時氮化而制得。采用這種生產方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對制品的性能有很大的影響。
硅粉中含有許多雜質，如Fe，Ca，Aì，Ti等。Fe被認為是反應過程中的催化劑。它能促進硅的擴散，但同時，也將造成氣孔等缺陷。Fe作為添加劑的主要作用：在反應過程中可作催化劑，促使制品表面生成SiO2氧化膜；形成鐵硅熔系，氮溶解在液態(tài)FeSi2中，促進β-Si3N4的生成。但鐵顆粒過大或含量過高，制品中也會出現(xiàn)氣孔等缺陷，降低性能。一般鐵的加入量為0～5%。Al，Ca，Ti等雜質，易與硅形成低共熔物。適當?shù)奶砑恿浚梢源龠M燒結，提高制品的性能。
硅粉的粒度越細，比表面積越大，則可降低燒成溫度。粒度較細的硅粉與粒度較粗的硅粉相比，制品中含α- Si3N4的量增高。降低硅粉的粒徑，可以降低制品的顯微氣孔尺寸。適當?shù)牧６扰浔?，可以提高制品密度?/span>
溫度對氮化速率影響很大。在970～1000℃氮化反應開始，在1250℃左右反應速率加快。在高溫階段，由于是放熱反應，若溫度很快超過硅的熔點（1420℃），則易出現(xiàn)流硅，嚴重的將使硅粉坯體熔融坍塌。
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