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氮化硅?采用閃速燃燒合成法生產(chǎn)!

更新時間:2022-08-16 關注:2583

閃速燃燒合成法,又稱垂直連續(xù)燃燒合成法,是近年來金屬氮化領域發(fā)展起來的一種新工藝。合成氮化硅鐵不含游離硅,適用于大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)。


  氮化硅采用閃速燃燒合成法生產(chǎn)!

  閃速燃燒合成法,又稱垂直連續(xù)燃燒合成法,是近年來金屬氮化領域發(fā)展起來的一種新工藝。合成氮化硅鐵不含游離硅,適用于大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)。與其他生產(chǎn)方法相比,生產(chǎn)成本大大降低,僅相當于其他生產(chǎn)方法生產(chǎn)成本的1/10~1/3。該工藝將粒度為74μm的FeSi閃速爐爐頂連續(xù)加入775合金原料1400~1600℃氮氣(化學體積分數(shù)99.99%)爐中,F(xiàn)eSi75合金在高溫氮氣中閃速燃燒,氮化硅鐵在重力作用下落入產(chǎn)物池。

  含有柱狀結(jié)晶的氮化硅鐵相除外β-Si3N4,微小圓形顆粒的α-Si3N4和Fe3Si外,只含少量SiO2,不含Si2N2O;大量柱狀氮化硅晶體在微觀結(jié)構(gòu)中的長徑相對較高,鐵相材料為Fe3Si和α-Fe兩種形式存在并分布在柱狀Si3N4.結(jié)晶包裹材料內(nèi)部;外觀結(jié)構(gòu)松散,活性較強。該工藝可在低壓下(0.01~3MPa)合成氮化硅鐵具有連續(xù)規(guī)模、低成本。

  研究表明,使用FeSi75合金閃燃合成氮化硅鐵的氮化過程是FeSi75中Si和ξ(FeSi2.3)相氮化;氮化硅鐵中FexSi顆粒(鐵粒)來源ξ當?shù)呌谄胶鈺r,相中不能繼續(xù)氮化的部分是FexSi顆粒(鐵粒)

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